| Главная | Каталог |
» Каталог
» Книги » Научная и научно-популярная литература » Прикладные науки. Техника » Автоматика. Радиоэлектроника. Связь » Электроника. Радиоэлектроника
Каталог товаров:
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие. Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И.
381 руб
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Из серии: Нанотехнологии
2018
