| Главная | Каталог |
» Каталог
» Образование, учебная литература » ВУЗовская литература » Информатика. Электроника. Связь » Учебники: доп. пособия
Каталог товаров:
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие. Родионов Юрий Анатольевич
1521 руб
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. 2019
